устройство, предназнач. для создания, повышения и поддержания вакуума. Различают В. н.: форвакуумные (напр., поршневые, пластинчато-роторные, золотниковые), бустерные (напр., двухроторные, пароструйные), высоковакуумные (напр., диффузионные, турбомолекулярные), сверхвысоковакуумные (напр., криогенные, магнитные электроразрядные). Осн. параметры В. н.: предельное остаточное давление (Па), быстрота действия (л/с).
Схема вакуумного вихревого насоса: 1 - тангенциальное сопло; 2 центральное сопло; 3 - камера завихрения; 4 - диффузор; 5 - улитка