устройство для изучения микроструктуры поверхности тв. тела; сочетает в себе ионный проектор и масс-спектрометр. Ионный проектор визуализирует поверхность проводящего кристалла с разрешением порядка размера атома. Далее выбранный для иссл. ионизованный атом направляется в масс-спектрометр для идентификации. А.з. определяет не только массу иона, но и кратность заряда.